多层结构类金刚石膜论文

激光制备多层结构的软质基底耐磨类金刚石膜
论文摘要为提高金属铜软基底的耐磨、抗蚀能力,采用脉冲激光沉积技术制备了金属铜基底上的多层结构类金刚石保护膜;其中的碳化硅-类金刚石循环层避免了类金刚石膜层中内应力的累积,降低了...