多晶硅还原炉论文

还原炉冷却水工艺优化
论文摘要多晶硅还原生产过程消耗大量的电能,电能在炉内转化为热能,而这些热能大部分被冷却水带走。为了更好的对还原炉冷却水进行余热利用的同时,又避免对生产带来其它方面的影响,可通过...