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线切割中碳化硅体积磨损的研究
论文摘要根据三体磨损理论建立砂浆在线切割过程中磨粒碳化硅(SiC)体积磨损率的模型,在一定的载荷工艺下,首先结合切割前后碳化硅粒径变化及碎屑粒径分布,指导在线砂浆系统的参数调整...
高线速下碳化硅单晶的快速平坦化切割
论文摘要碳化硅单晶材料硬度很高,用传统的切片方式难以加工、效率低下,多线切割是加工硬脆材料的有效方式,文章通过使用电镀金刚石线多线切割设备,进行了高线速度条件下快速碳化硅单晶平...