放电条件论文

空间环境模拟用ECR等离子体源标准装置研究
论文摘要本文研究了以微波ECR等离子体源作为等离子体发生器的空间环境模拟装置。试验以氩气为放电气体,通过分析气压、微波功率、磁场等放电条件对微波ECR等离子体源的耦合作用,并结...