防微振体系论文

12英寸集成电路芯片厂房的防微振设计案例分析
论文摘要根据国家标准(电子工业防微振工程技术规范)编制的原则,分析12英寸集成电路芯片厂房防微振设计中的若干问题。包括地质勘探、场地填方施工、防微振测试、多工况动力分析、隔振计...