翻转杆论文

刻蚀下料翻转机构的改进与优化设计
论文摘要现有下料翻转机构造成的碎片和返工片较多,影响设备稳定性。通过分析翻转机构,优化了翻转杆结构,确定了翻转杆的精确尺寸。优化后的翻转机构相对于未优化前,硅片返工率有了大幅度...