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翁国峰[1]2012年在《等离子体发射光谱研究》文中指出等离子体发射光谱是探究等离子体参数、等离子体基团分布的有效工具。本文利用发射光谱技术对压缩波导微波氢等离子体进行原位在线测量，研究了在微波等离子体化学气相沉积金刚石过程中等离子体内部基团、等离子体参数、等离子体内部粒子的物理化学过程及其与等离子...
