发射光谱法论文

双频容性耦合氩氧/氩氮混合气体等离子体特性研究
论文摘要双频容性耦合等离子体（Dual-FrequenceCapacitivelyCoupledPlasmas,DF-CCPs）可以对轰击到基片表面的离子通量以及能量分别进行控...