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大气压射频等离子体的产生及其在涂层制备中的应用研究
论文摘要涂层技术应用广泛,涂覆涂层于工件表面可以有效提高工件性能、延长工件使用寿命、降低工件制备成本;有些器件则直接为涂层的形式,如印刷电路板等。随着科学技术的发展,对涂层制备...