非晶合金薄膜论文

论文摘要在不同衬底温度（298、373和473K）下,采用磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备了Co56Ta35B9非晶合金薄膜。利用纳米压痕技术研究了非晶合金薄膜的蠕变行为。结果表...