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钇掺杂氧化铪薄膜的铁电与非线性光学性能研究
论文摘要铁电材料在铁电动态随机储存器、铁电场效应晶体管、铁电隧穿结和负电容器件等领域得到研究者的广泛关注.近年来,铁电二氧化铪(HfO2)材料由于具有CMOS兼容性、高介电常数...