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六轴运动平台几何误差与阵列光纤对准精度的映射关系
论文摘要针对光缆中阵列光纤与波导芯片精准对接问题,运用光电子封装系统六轴精密运动平台,研究了控制阵列光纤的位姿及对准精度。依据齐次坐标矩阵的几何误差模型,采用方差敏感性分析方法...