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PS-PVD等离子射流特性和YSZ粉末蒸发行为的光谱诊断
论文摘要采用PS-PVD工艺在不同送粉速率下沉积YSZ陶瓷涂层,通过光学发射光谱(OES)对不同送粉速率下的等离子射流特性进行诊断,同时分析光谱发射强度分布并计算出等离子射流平...