分散微热源论文

分散微热源合成β-SiC过程温度场变化规律
论文摘要主要介绍分散微热源碳化硅合成炉的合成原理,同时对分散微热源合成β-SiC过程中能量的扩散规律进行研究。结果表明:采用分散热源降低单个热源供电功率的方法,可以有效降低总的...