氟掺杂量论文

气溶胶辅助CVD法制备F掺杂SnO2薄膜及其性能
论文摘要采用气溶胶辅助化学气相沉积法（AACVD）在玻璃衬底上沉积F掺杂SnO2（FTO）薄膜,研究了前驱液中不同F/Sn摩尔比制备的FTO薄膜的结构、表面形貌、光学、电学及光...