干涉测量法论文

论文摘要受限于面阵像元尺寸和细分技术,利用面阵器件进行长度测量难以达到亚微米级。提出了一种基于法布里-珀罗（F-P）标准具多光束干涉成像原理的二维亚微米级位移测量方法,通过计算...