感性耦合等离子体论文

论文摘要射频感性耦合等离子体源可以在较低的射频电压下产生密度较高的等离子体、独立控制等离子体密度和入射到基片台上的离子能量,且不存在电极干扰。近年来,被广泛应用于半导体芯片刻蚀...

论文摘要通过Langmuir双探针和发射光谱诊断方法,对比研究了驱动频率为13.56MHz和2MHz柱状感性耦合等离子体中电子密度和电子温度的径向分布规律.结果表明:在高频和低...

论文摘要磁约束聚变装置中的中性束注入技术可以有效地加热等离子体和驱动等离子体电流。负氢离子在引出的束能量较高时仍然可以保持很高的中性化效率,因此对未来的磁约束聚变堆中性束加热技...