高度控制论文

电子束硅片图形检测系统中的纳米级对焦控制技术
论文摘要带电粒子束成像检测技术是一种可以提供纳米级测量精度的技术,广泛应用于半导体检测中。在进行硅片检测时,要求待测硅片在扫描检测过程中一直处于电子束的焦深范围(DoF)内。本...