高功率调制脉冲磁控溅射论文

高功率调制脉冲磁控溅射沉积NbN涂层特征工艺参数研究
论文摘要目的研究不施加基片温度和固定Ar/N2流量比为64/16的条件下,微脉冲占空比、充电电压特征工艺参数与负偏压对NbN涂层相组成、微结构和力学性能的影响。方法采用高功率调...