高频光电导法论文

高频光电导法测量硅晶体载流子寿命的深度分析
论文摘要高频光电导测量硅单晶寿命的方法在国内半导体材料行业广泛使用,经过长期的实践积累了丰富的经验。本文试图就方法原理、仪器性能要求、测试结果的处理以及如何提高测量的重复性进行...