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高气压条件下射频及直流激励的等离子体源特性研究
论文摘要在大气压及亚大气压条件下放电的等离子体中,粒子间频繁的碰撞直接影响等离子体的功率吸收机制,也易于诱发各种不稳定性。另一方面,高气压条件下放电的等离子体具有较高的气体温度...