高熵合氮化薄膜论文

沉积时间对高熵合金溅镀氮化薄膜性能的影响
论文摘要以高熵合金(AlCrNbSiTiV)为靶材,Ar为工作气体,N2为反应气体,利用反应式直流磁控溅镀在硅晶片和车削刀具上制备高熵合氮化薄膜,探讨不同溅镀沉积时间对(AlC...