高温氧化工艺论文

两步氧化法制备β-Ga2O3薄膜
论文摘要为获得高质量的β-Ga2O3薄膜,对传统的GaN薄膜高温氧化方法进行了优化。我们通过对GaN薄膜分别进行一步或两步高温氧化的方法制备了β-Ga2O3薄膜,并通过X射线衍...