高温真空烘烤排气论文

特大型超高真空排气台的研制
论文摘要为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650MHz/800kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子...