高效光栅论文

利特罗入射下的衍射光栅分束性能研究
论文摘要随着现代光电产业的高速发展,工业上出现了各式各样的精密光学器件,这类器件对集成度的要求极高。而衍射光栅这种基于高集成度,高精密度的结构迎合了这类工业需求而被广泛应用到各...