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环境微振动下超精密加工设备基础隔振分析
论文摘要为研究超精密加工设备隔振基础的隔振效果,以某超精密加工设备为研究对象,设计了隔振系统,分析了系统在环境微振动下的振动响应,发现在x方向能得到很好的隔振效果。另外,通过调...