共格外延生长论文

论文摘要采用多靶磁控溅射系统,使用AlCrTiZrNb合金靶和Si靶制备了不同Si3N4厚度的（AlCrTiZrNb）N/Si3N4纳米多层膜,样品基底为单晶硅。通过X射线衍射...