共溅射论文

衬底温度对共溅射法制备TZO薄膜光电性能的影响
论文摘要以金属Ti和ZnO陶瓷作为溅射靶材,采用直流和射频双靶磁控共溅射方法在玻璃衬底上制备Ti掺杂ZnO（TZO）透明导电薄膜,探究了衬底温度对薄膜光电性能的影响。采用扫描电...