工作压强论文

工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响
论文摘要采用脉冲等离子体增强化学气相沉积方法（Pulse-PECVD）于316L不锈钢基体上制备类金刚石（DLC）薄膜,研究不同工作气压对DLC薄膜的沉积速率、表面形貌、微观结...