光发射谱论文

氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究
论文摘要为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态...