光化学制造论文

光固化微压印制作微结构阵列成型工艺
论文摘要研究了一种光固化微压印制作微结构阵列的工艺。常温下,在自制的模板上涂覆自主研制的专用液态光敏材料,用自主研制的光固化微压印设备进行压印,同时通过紫外光照射固化成型,制备...