光刻机论文

高精度位移测量系统的硬件在环仿真
论文摘要设计了一个基于二维光栅的高精度位置测量系统的硬件在环仿真平台,分析了测量模型在编程过程中产生误差的原因,并使用该仿真平台测试了模型的精度和运算时间。结果表明,当计算频率...
球面光学元件表面193nm增透膜光谱均匀性优化技术研究
论文摘要以ArF准分子激光器作为光源的193nm光刻机,其半导体集成电路加工制程覆盖130nm至22nm,是目前以及未来长时间内半导体光刻工艺中的核心设备。在193nm光刻机设...
“硬核”创新全速崛起：5G资费会比4G还低
论文摘要2019年全国大众创业万众创新活动周于6月13日至19日举办。近日在上海杨浦“互联宝地”园区里，一大批往常难得一见的科创成果正式对外界展示；这些成果都共同承载了同一个核...