光刻技术论文

肖啸[1]2003年在《厚层抗蚀剂成像特性研究》文中研究表明从二十世纪九十年代以来，微电子机械系统(MEMS)发展迅速，促进了其加工方法的不断完善和进步。近年来，作为制作优质大高宽比微结构的厚层抗蚀剂光刻术以其工艺简单、制作成本低等优点受到国际上广泛重视。随着MEMS的迅速发展，其结构愈来愈复杂，高...