光逻辑器件论文

基于石墨烯-硅混合波导Mach-Zehnder结构电光逻辑器件研究
论文摘要随着集成电路集成度的提升,工艺制程逐渐接近物理极限。为了解决随之而来的电互连功耗、延时、带宽等问题,光互连应运而生。光逻辑器件作为光互连的关键器件之一,而如何实现高速、...