光谱椭偏仪论文

光谱椭偏系统光源和光谱仪偏振相关系数测量
论文摘要光谱椭偏测量技术已广泛应用于材料科学、微电子、物理化学和生物医学等领域。在光谱椭偏测量系统中,由于起偏器和检偏器存在漏光等瑕疵,光源子系统的偏振度和光谱仪子系统的偏振敏...