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    论文摘要形貌测量仪是一种实现物体表面三维形貌和变形测量的设备,不仅可用于对微电子、微机械等细微结构的形貌测量,也可用于大型机械部件的形貌测量,在工业生产中的应用十分广泛。形貌测...
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    基于相位调制的光纤干涉型光学相控阵扫描特性研究

    论文摘要为解决光纤干涉型相控阵在实际实用中的扫描控制问题,建立了一种基于相位调制的光纤干涉型光学相控阵扫描控制的理论模型。该模型以光纤作为相控阵阵元,采用傍轴近似和远场近似,通...