硅光栅论文

MgF分子的超表面囚禁
论文摘要超表面是金属或者电介质结构单元按照亚波长间隔排列组成的结构平面,这些结构可以改变入射光的相位,使反射光或者透射光根据结构的空间分布来形成相应的波前。通过调整结构单元的几...
全息光刻-反应离子束刻蚀制作硅光栅
论文摘要全息光刻-反应离子束刻蚀是一种非常重要的制作光栅的方法,而如何解决全息曝光中的驻波问题,提高光栅的制作质量,实现该方法向硅材料等高反射率基底的推广应用是一项急需解决的问...