硅外延论文

高压As-MOS管用硅外延材料制备工艺的研究
论文摘要高压As-MOS管用硅外延材料制备工艺的难点在于重掺砷（As）衬底外延的自掺杂和固态外扩散严重,外延电阻率和过渡区不易控制。在多片式外延炉生产时又会因重掺砷衬底之间相互...