硅微谐振加速度计论文

硅微谐振加速度计的模态分析与实验
论文摘要针对硅微谐振加速度计在进行结构设计时,如何根据模态特性选取工作模态这一问题,比较分析了加速度计工作在两种不同振动模态下的性能参数。首先采用刚度法分析了谐振器的振动特性,...