还原炉论文

基于防止塑性垮塌的多晶硅还原炉底盘结构安全性评估
论文摘要针对多晶硅还原炉底盘支撑结构的应力分析问题,基于JB4732—1995《钢制压力容器——分析设计标准》（2005年确认）中的弹性应力分析法以及ASMEⅧ-2中的极限载荷...
多晶硅还原炉系统余热回收利用
论文摘要高纯的SiHCl3与H2在还原炉内1100℃左右高温下发生化学气相沉积反应,在硅芯上沉积而生成多晶硅,还原炉是多晶硅生产中电耗最高的设备,本文通过利用高温热水对还原炉的...