化学机械研抛论文

超声-化学机械研抛的流体动力学仿真
论文摘要为研究保持环超声振动对抛光试件和抛光垫间流场性能的影响,利用COMSOLMultiphysics软件分别针对实体研抛盘和有孔抛光垫,对研抛区流体进行了有限元建模与仿真,...