化学气相沉积论文

论文摘要热力学和第一性原理计算在材料设计方面发挥着重要的作用,通过这些理论预测能够快速确定材料工艺-成分-结构-性能之间的关系。本文主要介绍了热力学计算在化学气相沉积（Chem...

赵文锋[1]2004年在《ICP等离子体增强化学气相沉积制备纳米粉体氮化硅特性研究》文中研究说明本论文主要研究了感应耦合等离子体增强化学气相沉积(ICPECVD)技术和反应主要由等离子体参数的分布特性以及Si_3N_4粉体材料的制备工艺方法，寻求合适的工艺参数，制备纳米Si_3N_4粉体材料，以及利...