化学溶液沉积法论文

δ-Nb-Ti-N超导薄膜溶液法制备与超导性能研究
论文摘要采用化学溶液沉积法在Si衬底上生长立方结构的δ-Nb-Ti-N薄膜和δ-NbN薄膜,系统研究了掺杂前后薄膜颗粒度/晶粒度、微应力、N含量、载流子浓度及迁移率对超导转变温...