混合物理化学气相沉积法论文

MgB2/Mo多层膜的制备与超导性质
论文摘要采用磁控溅射技术（MS）和混合物理化学气相沉积法（HPCVD）在单晶Al2O3基底上制备MgB2/Mo多层膜。通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和标准四...