键合效果论文

基于等离子法PDMS基体与玻璃键合效果分析
论文摘要采用等离子法对聚二甲基硅氧烷（PDMS）基体和玻璃进行表面处理,根据所设计的正交实验和对比实验进行键合,探究键合的最优工艺参数组合、键合面积与键合时间的关系以及PDMS...