溅射镀膜铌靶材论文

溅射镀膜铌靶材表面纹路原因分析
论文摘要从晶粒组织分布、织构组份分布、杂质含量分布三个方面对工业生产中溅射镀膜铌靶材表面纹路产生原因进行分析。结果表明,原材料的化学成分分布不均和杂质富集,经过后期的轧制加工,...