溅射法论文

HVO2薄膜相变的特性及热稳定性
论文摘要采用射频溅射磁控溅射技术在Ar+H2气氛下,以V2O5为溅射靶材在玻璃基片上制备了H掺杂VO2（HVO2）薄膜,研究了H2流量和退火处理对HVO2薄膜的结构、光电性能和...