溅射气压论文

掺铝ZnO透明导电膜动态制备及性能研究
论文摘要采用射频磁控溅射法在玻璃上动态制备高质量的掺铝ZnO（AZO）透明导电膜,研究了动态沉积条件下AZO薄膜的膜厚和电阻率均匀性,以及溅射气压对AZO薄膜结构和光电性能的影...