镓锌氧化物论文

射频功率对MgO掺杂镓锌氧化物薄膜性能的影响（英文）
论文摘要采用磁控溅射技术制备了MgO掺杂镓锌氧化物薄膜样品,通过X射线衍射（XRD）、电阻率、载流子浓度和Hall迁移率测试分析,研究了射频功率对薄膜样品微观结构和电学特性的影...