集成电路制造论文

集成电路制造中废气处理措施
论文摘要集成电路中产生的废气是比较多的,主要是由化学气相沉积和挥发性有机物两种,常用的处理措施有除害装置、集中处理、原料替代和减少用量等。就集成电路制造中废气处理措施进行了分析...
12英寸集成电路芯片厂房的防微振设计案例分析
论文摘要根据国家标准(电子工业防微振工程技术规范)编制的原则,分析12英寸集成电路芯片厂房防微振设计中的若干问题。包括地质勘探、场地填方施工、防微振测试、多工况动力分析、隔振计...